授業内容・計画(概要)の情報


授業科目名 新エネルギー特論3
授業科目の区分 大学院科目    大学院科目
担当教員名及び
連絡先

岩崎 和市
授業の目標
  応用物性工学は範囲が極めて広いため、取扱う分野が必ずしも明確でない。従っ
て、ある一つの分野を切り口にして講義を展開せざるを得ない。ここでは真空技術
から取り上げる。真空技術は各種電子デバイスの製造、高度な物性評価装置、さま
ざまな材料の処理・洗浄や食品の乾燥凍結などの広い分野における基本技術となっ
ている。授業では真空技術の基礎となる気体分子運動論、物理吸着や化学吸着など
に関する事項について説明し、各種排気装置の原理とその性能について解説する。
そして、使用頻度の多い圧力測定器を紹介し、その原理と特徴について説明する。
 さらに、薄膜の作製法の原理と条件について説明する。また、作製された膜の膜
厚、構造、組成の評価法及び電気的、光学的な特性の測定方法について最近のトピ
ックスを含めて解説する。

成績評価の方法
  
履修のポイント
留意事項

 真空技術の基礎と装置の原理・性能に関する知識・技術を学ぶことも大切であるが、
真空装置が取り込まれている各種の材料製造や物性測定装置において真空度がどのよう
に関わっているかを考えながら学ぶことが重要である。
学部・学科必修/選択の別
工学研究科                応用理学専攻               修士課程 選択

2014/09/16 11:32:17 作成