授業内容・計画(概要)の情報


授業科目名 電気電子物性特論2
授業科目の区分 大学院科目    大学院科目
担当教員名及び
連絡先

清田 英夫
授業の目標
 本科目は電気電子応用物性特論Iで学んだ微細加工技術に引き続き、集積回路およ
び電子デバイスを製造するために不可欠な結晶および薄膜形成技術を学ぶ。まず、Si
や化合物半導体の単結晶ウェハおよびエピタキシャル層を形成するための結晶成長技
術を学ぶ。また、集積回路上の電子デバイスや配線層の微細化に伴い重要になってき
た薄膜材料の堆積や加工方法について、スパッタリングやCVD(化学気相堆積)等に
よる絶縁層や金属配線層の形成技術を学び、薄膜形成技術に関する専門的な知識を身
につけることを目標とする。

成績評価の方法
  
履修のポイント
留意事項

毎回、英文のリーディング課題を出題するので、該当箇所の内容を理解した上で授業にの
ぞむことが必要である。
学部・学科必修/選択の別
産業工学研究科              生産工学専攻               修士課程 選択

2014/09/16 11:32:17 作成