授業内容・計画(概要)の情報


授業科目名 表面・界面物性特論
授業科目の区分 大学院科目    大学院科目
担当教員名及び
連絡先

沖村 邦雄
授業の目標
 電子デバイスや多くの機能性材料は、金属、半導体、絶縁体の積層構造であり、
各層の表面及び相互の界面の特性が性能に大きく影響する。特に近年、結晶成長技
術や薄膜成長技術の進歩にともない、表面及び界面の状態は極めて重要となってい
る。本講義では、表面及び界面に関する物理の基礎的事項を解説する。前半では結
晶表面を扱い、表面の結合手、未結合手(ダングリングボンド)及び固体を形成する
原子のポテンシャルエネルギーに基づく表面エネルギーの計算法について講義す
る。最後に、光電子分光法、オージェ電子分光法などの表面分析法について測定例
を挙げて解説する。結晶表面の物理に関する基礎を理解することで、表面の性質に
加えて積層構造の界面について考察できる素養を身に付けることを目標とする。
成績評価の方法
  
履修のポイント
留意事項

 学部あるいは大学院において、固体物理学や電子物性に関する授業を履修していれ
ば、本講義をより深く理解するのに有効である。
学部・学科必修/選択の別
工学研究科                電気電子システム工学専攻         修士課程 選択

2015/09/10 15:49:56 作成