授業内容・計画(概要)の情報


授業科目名 電気電子物性特論1
授業科目の区分 大学院科目    大学院科目
担当教員名及び
連絡先

清田 英夫
授業の目標
 近年のコンピュータと情報通信の目覚しい発展により、社会のあらゆる分野におい
て情報技術による大規模な変革が進んでいる。本科目では、このような高度情報化社
会の基盤である集積回路を製造する半導体プロセスの基本的な概念および応用技術を
学ぶ。特に、近年電子デバイスが微細化されたことにより、0.1ミクロン以下の微細構
造がデバイス特性を左右するようになった。この授業を通じて、このような微細構造
を形成するリソグラフィやエッチング等について学び、微細加工に関する専門的な知
識を身に付けることを目指す。さらに不純物ドーピング技術を学ぶことにより、IC
上にデバイス領域を形成するためのプロセスの流れを理解することを目指す。
成績評価の方法
  
履修のポイント
留意事項

毎回、英文のリーディング課題を出題するので、該当箇所の内容を理解した上で授業にの
ぞむことが必要である。
学部・学科必修/選択の別
産業工学研究科              生産工学専攻               修士課程 選択

2015/09/10 15:49:56 作成