授業内容・計画(概要)の情報


授業科目名 マイクロマシン特論
授業科目の区分 大学院科目    大学院科目
担当教員名及び
連絡先

木村 啓志
授業の目標
 本講義ではメムス(MEMS)やマイクロタス(MicroTAS)と呼ばれる先端工学分野を中心に発展してきた
マイクロマシンの概要について学ぶ。前半はまず、当該分野でよく用いられる半導
体の微細加工技術全般に関して詳しく解説する。さらにそれらの特殊な加工方法や
装置が、現在の最先端の研究分野などに幅広く利用されていることを学ぶ。後半
は、講義で得られた知見をもとに、これらの応用分野の中で自分が興味を持った内
容に関して機械工学の観点からさらに深く自主的に学び、これをプレゼンテーショ
ン・ディスカッションし、理解を深める。
成績評価の方法
  
履修のポイント
留意事項

 本講義ではマイクロマシン技術に関する先端的な研究や技術の内容を取り扱うため、機械に限らず、電
気、光学、化学・物理、生物学など幅広い知識が必要となるので、学部で得た知識の復習をしっかりしてお
くこと。また、工学の最先端技術について講義するので常に新聞・雑誌・インターネット等を通じて関連分
野の技術ならびに研究動向をチェックし,講義内容と照合させるという習慣をつけることが望まれる.
学部・学科必修/選択の別
工学研究科                機械工学専攻               修士課程 選択

2017/09/15 10:18:50 作成