授業内容・計画(概要)の情報


授業科目名 薄膜工学
授業科目の区分 主専攻科目    主専攻科目(学科開講科目)
授業の目標
 軽薄短小の機器が省エネルギーとも相俟って大いに利用されています。その中心プロセ
スは、薄膜形成プロセスです。その典型的な例として携帯電話や集積回路があり、軽量
化、薄膜化、短小化、多機能化が進み薄膜プロセスの凝縮した例として考えることが出来
ます。ここでは、薄膜形成法を基礎プロセスとして利用しています。各々の機能を持つ素
子は微細化され、それらの大きさはミクロンオーダになります。また、原子を識別し、必
要な原子を決められた順序に並べて目的の素子を作ることが研究されています。
 本講義は、薄膜の形成とその評価を理解することが目的です。講義は光学薄膜を中心に
行いますが、半導体薄膜や金属薄膜など薄膜全般にわたっても講義を行います。講義で
は、成膜技術を理解するための基礎知識を学びます。その上で光学薄膜の理論、評価、設
計の基礎を学びます。
 本授業により育成する力・スキルは「自ら考える力」、「時代の変化に対応する専門
力」、「光の本質理解と応用力」、「画像の本質理解と応用力」です。


先修条件または
他の授業科目との関連
 先修条件は特にありません。興味ある話題を理解するには物理学、化学、物理実験、数
学の基礎知識が必要です。また、幾何光学、波動光学、電磁光学など科目は履修してある
ことが望ましいです。 
履修のポイント
留意事項
 薄膜工学は、具体的に目で見えるような技術ではなく隠れた技術ですので、講義の進度に合わ
せて具体例を見せるようにします。また、展示会などに参加して、最新の装置を見るように心が
けてください。
学部・学科必修/選択の別
工学部 光・画像工学科 選択

2018/09/13 17:24:48 作成